高纯氢气生产严格遵守多层级标准体系，确保产品质量和安全：
| 标准体系层级 | 主要标准/规范示例 | 重点内容 |
| 国家/国际基础标准 | GB/T 3634.2《氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢》(中国)
ISO 14687《氢燃料品质》系列(国际) | 定义了纯度等级的基本划分(如≥99.99%、≥99.999%、≥99.9999%)
规定了各类杂质(水、氧、总烃、一氧化碳、二氧化碳、硫化物、卤化物等)的限量指标与检测方法 |
| 行业应用标准 | SEMI C49系列标准(全球微电子制造业)
药典标准(如USP/NF/EP/ChP) | 为半导体、光伏等高科技领域量身定制更严格的杂质控制指标
确保氢气在制药工艺中符合纯度、安全性和生物兼容性要求 |
| 质量管理体系 | ISO 9001
ISO/TS 22163(针对特定行业如轨道交通) | 规范厂家建立从原料到成品的全过程质量控制体系
保障生产流程的可追溯性、风险管控能力与持续改进机制 |
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国家/国际基础标准：
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GB/T 3634.2《氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢》 (中国)： 这是国内最重要的基础标准，明确定义了纯氢、高纯氢、超纯氢的纯度等级（如≥99.99%、≥99.999%、≥99.9999%）以及关键杂质（如水、氧、总烃、一氧化碳、二氧化碳、硫化物、卤化物、颗粒物等）的限量指标和检测方法。
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ISO 14687《氢燃料品质》系列 (国际)： 虽然主要针对燃料电池用氢，但其对杂质种类和限值的严格规定（特别是金属离子、甲醛等）越来越被高纯氢气行业参考借鉴。其分类（如Grade D）也常作为纯度要求的表述。
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行业应用标准：
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SEMI标准 (全球微电子制造业)： 如 SEMI C49系列标准 是半导体、光伏等尖端制造领域公认的权威标准。它对高纯氢气的杂质控制要求远高于基础国标，对颗粒物尺寸、数量，以及特定金属杂质（如Na、K、Fe、Ni、Cr、Zn等）有极其严格（ppb甚至ppt级）的限量规定。
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药典标准： 用于医药行业的高纯氢气还需符合《美国药典》/《美国国家处方集》或《欧洲药典》、《中国药典》的相关规定。
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企业内控标准： 领先的高纯氢气厂家会根据客户的具体需求（往往比国标更严格）和自身生产工艺能力，制定更为严苛的内控标准，确保产品批次间的稳定性和持续满足高端应用。
